經濟日報 編譯陳律安、記者尹慧中、李珣瑛／綜合報導

半導體極紫外光（EUV）設備獨家供應商艾司摩爾 （ASML）昨（19）日表示，先前柏林廠火災不影響出貨與產能，樂觀預期今年營收可望大增二成，一掃先前EUV生產不確定性大，可能延誤台積電先進製程發展腳步陰霾。

市場看好，艾司摩爾為出貨打包票並看好後市，台積電（2330）擴產將吞定心丸，持續獨霸先進製程，家登、迅得、帆宣等艾司摩爾台灣供應鏈同步惠。台積電近期股價連日回檔，昨日跌8元，收654元，艾司摩爾釋出正向訊息後，台積電ADR周四早盤回神漲約1.3%。



台積電未評論單一供應商訊息。業界認為，台積電近年資本支出大舉拉升，與採購EUV衝刺先進製程，以及既有設備升級緊密關聯，特別是下世代EUV設計更精密複雜且體積更大，造價更高於當前機種，目前每台機種價格約1.4億歐元，推估新世代EUV每台將超過1.5億歐元，也因此，台積電今年資本支上看440億美元，年增幅33%起跳。

台積電總裁魏哲家先前回應分析師關注資本支出拉升與EUV採購議題時指出，台積電已規劃三年千億美元資本支出是獲得供應商提前做好準備的承諾及支持，不論是否為EUV，都不希望有任何瓶頸。統計顯示，台積電2020年EUV微影量產設備台數居全球五成，EUV晶圓產量更占65%，持續稱霸。

不過，艾司摩爾先前傳出柏林廠失火停工，該公司第一時間僅對外宣布「影響評估中」，使得市場憂心可能衝擊EUV設備供貨，牽動台積電先進製程機台導入與量產時程。

針對外界關注柏林廠部分建物火災的影響評估，艾司摩爾昨天在財報會議上正式宣布，根據目前資料評估，柏林工廠火災不會對2022年出貨產生重大影響，並樂觀預期該公司2022年營收可望年增20%。這意味艾司摩爾整體出貨持續強勁，供應狀況順暢，也為台積電擴產吞下定心丸。

艾司摩爾表示，去年第4季淨利為17.7億歐元（20.1億美元），季成長2%，優於市場預估的15.1億歐元；上季營收為50億歐元，略低於分析師原估的51億歐元，毛利率則為54.2%。

艾司摩爾正大舉投資，以提高產能，力圖緩解全球半導體短缺。該公司執行長韋尼克（Peter Wennink）強調，今年的營收成長預測已考量柏林工廠失火的影響，「依據我們目前的觀察，我們能妥善處理這場火災的影響，不會對2022年的系統出貨產生重大影響」。

展望今年，艾司摩爾認為，客戶需求高於產能，為支持客戶，一方面提供客戶在既有機台上的升級生產力，另一方面優化工廠生產周期、增加機台出貨量。此外，英特爾昨也和艾司摩爾共同宣布，首度採購下世代EUV設備High-NA，預計2025年導入量產。