imec 攜手台積電等多家半導體廠推出公開使用版虛擬晶圓廠
作者 Atkinson | 發布日期 2023 年 11 月 16 日 8:55 | 分類 IC 設計 , 半導體 , 國際觀察



比利時微電子研究中心 （imec） 宣布推出免費使用版虛擬晶圓廠 imec.netzero 模擬平台，該工具提供了一種量化晶片製造業環境影響的視角，提供學界、政策制定者及設計人員具有價值的洞見。透過此次發佈的免費版網頁應用，imec 旨在跨出半導體供應鏈，協助產業降低其所帶來的環境影響。

Imec 表示，半導體製造是一套複雜的流程，伴隨多種環境影響，從消耗大量能源、使用稀有材料到排放溫室氣體。業界考量到這塊市場的成長，以及巴黎協定為氣候變遷訂定的目標，正在努力優化製程步驟。然而，測定並減緩具備較大環境影響的製程或技術需要大量的資料。這正是  imec  永續半導體技術與系統 （Sustainable Semiconductor Technologies and Systems；SSTS） 研究計畫正在處理的問題。該計畫是一項關乎整個半導體生態系統的合作框架。除了從電子產品的終端使用者、晶圓廠、代工晶圓廠到材料及設備製造商，也攜手學界及政府單位。



為了正確量化晶片製造所帶來的環境影響，imec 開發了一款取名 imec.netzero 模擬平台的虛擬晶圓廠。該網頁應用運用從自家晶圓廠取得的資料，藉由這些資料與從設備、材料及晶圓廠合作夥伴那邊取得的資料不斷地進行基準測試，包含像是亞東工業氣體 （Air Liquide）、 應用材料 （Applied Materials）、ASM、艾司摩爾 （ASML）、愛德華 （Edwards）、日本 KURITA、科林研發 （Lam Research）、日本 SCREEN、東京威力科創 （Tokyo Electron）、格羅方德 （GlobalFoundries）、三星電子 （Samsung Electronics） 和台積電 （TSMC）。這款虛擬晶圓廠採用生命週期評估 （Life-Cycle Assessment） 的研究方法，搜集並分析晶片製程在每個步驟所用的能源、材料、化學品、氣體及其它資源。合作夥伴可以取得 imec.netzero 模擬平台的專用版軟體應用，它能詳細地量化分析當前及未來晶片技術所帶來的隱含排放和其它環境影響，導出實際行動。

imec計畫趁現在觸及更多的使用者，公開版 imec.netzero 模擬平台提供與專用版相同的晶圓廠模型和製程資料庫。雖然這款網頁應用的功能有限，例如僅適用於現行技術及溫室氣體盤查議定書 （GHG Protocol） 的範疇一 （Scope 1） 和範疇二 （Scope 2），但它能提供獨到的資料見解，否則大眾無從獲得這些資訊。舉例來說，該應用可以根據不同的製造地點，視覺化呈現多項 （28奈米以下） 邏輯及記憶體技術的氣候變遷 （二氧化碳排放）、用電量或總用水量。

Imec 研究計畫組長 Cédric Rolin 解釋，我們的目標是跨出半導體供應鏈和我們的永續半導體技術與系統 （SSTS） 研究計畫，提供有關晶片製造業環境影響的高品質透明資料。 我們開發的工具超越了目前現有的研究，提供價值給那些探索產業影響力數據 （industry impact data） 的產品設計員、環境研究員和政策制定者。

(首圖來源：台積電)